小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品參數：
| 型號 |
小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA |
|
真空腔規格 |
材質316不銹鋼 |
| 腔體尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
|
電極 |
平板氣浴電極 材質6061-T6鋁合金 |
|
功率電極 |
1 |
|
接地電極 |
1 |
|
電極尺寸 |
180mm *230mm（最大可處理產品尺寸規格） |
|
頻率 |
13.56MHz |
|
功率 |
0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數 |
|
氣體控制 |
精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml |
| 氣體通道 | 2路（可增加） |
|
真空度測量儀器 |
2色顯示式高精度數字式壓力開關（SMC） |
|
控制方式 |
4.3寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式 |
|
控制軟件功能 |
界面顯示實時工作狀態 |
|
電極板配置 |
配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置 |
|
設備規格尺寸 |
長500mm 寬550mm 高800mm |
小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品特點：
? 卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體，軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。
? 高密度等離子電源技術：采用進口等離子電源電路技術，確保出眾的清洗效果。
? 獨有放電技術：特殊處理的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
? 高精度氣體流量監測系統：兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體），雙路氣流控制，比例可調，采用MFC質量流量計、氣體管路及閥件。
? 優質產品部件：產品部件采用國內外頂尖優質品牌，確保設備性能優越。
? 數字計時單元：1-9999s選擇范圍時間顯示，處理過程結束后自動終止。
? 適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，全方位均勻清洗。
? 處理全程無污染 ：等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。
真空等離子清洗機產品介紹：
等離子清洗機，可通過選用不同種類的氣體，調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。真空等離子清洗機由真空室、真空泵、高頻電源、電極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵，高頻電源通常采用13.56MHz.的無線電波。裝置的運行過程如下:
(1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
(2）向真空室內引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100Pa。根據清洗材質的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
(3）在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件，開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。
(4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內鼓入空氣，并使氣壓升至一個大氣壓。
